Mikro- og nanofabrikasjon

Emnet gir en innføring i mikro- og nanofabrikasjon, inkludert silisium teknologi for framstilling av sensorer og aktuatorer. Det blir gitt grundig innføring i utvalgte deler av halvlederprosessering i renrom, som fotolitografi, etsing, deponering og metallisering. Grunnleggende mekanikk for design av mikroelektromekaniske systemer (MEMS) vil behandles. Ulike sensor- og aktuatorprinsipper, slik som piezoresistivt, kapasitivt, elektrostatisk og termisk, vil gjennomgås. Design og framstilling av ulike typer sensorer, slik som trykksensorer og akselerometre, vil gjennomgås i detalj.

Kunnskaper: Kandidaten har: - inngående kunnskaper om utvalgte deler av teknologiske prosesser og utstyr for fremstilling av halvlederkomponenter og integrerte kretser, samt de ulike fabrikasjonsprosessene for produksjon av MEMS - kunnskaper om grunnleggende egenskaper og anvendelser av mikrosystem-teknologi - kunnskaper om generelle karakteristika for sensorer og aktuatorer - inngående kunnskaper om funksjonsprinsipper og oppbygging av ulike typer mikro-elektromekaniske sensorer og aktuatorer - kunnskaper om de viktigste avveiningene og grunnprinsippene for design og optimalisering av MEMS. Ferdigheter: Kandidaten kan: - gjøre fotolitografi og enkel prosessering av halvledere i renrom, samt gjøre karakterisering med utvalgte teknikker - benytte ervervet kunnskap til å foreslå valg av egnet sensor- eller aktuatorprinsipp for å oppnå en bestemt funksjon - benytte ervervet kunnskap til å velge optimalt sensor- eller aktuatordesign - gjennomføre enkle beregninger av elektromekaniske egenskaper for mikroelektromekaniske komponenter - benytte ervervet kunnskap til å foreslå egnet prosess for framstilling av en spesifikk mikro-elektromekanisk komponent. Generell kompetanse: Kandidaten har: - nødvendig kunnskap for videre studier av virkemåte og teknologi for fremstilling av avanserte halvlederbaserte elektroniske komponenter, samt elektronisk krets- og systemdesign. - nødvendig kunnskap for å kunne sette mikrosystemteknologi i sammenheng med viktige utviklingstrekk innen informasjonsteknologi.

Forelesninger, regneøvinger, og laboratorieøvinger i renrom og karakteriseringslab.