Nanoelektronikk I

En innføring i mikro- og nanofabrikasjon med fokus på silisium teknologi for framstilling av sensorer og aktuatorer. Grunnleggende mekanikk for konstruksjon av mikroelektromekaniske systemer (MEMS) vil behandles. Ulike sensor- og aktuatorprinsipper, slik som piezoresistivt, kapasitivt, termisk, piezoelektrisk og optisk prinsipp vil gjennomgås. Design og framstilling av ulike typer sensorer slik som trykksensorer, akselrometre, gyroskoper og gassensorer vil gjennomgås i detalj. I tillegg vil optiske, termiske, kjemiske og biologiske sensorer og aktuatorer og deres anvendeleser diskuteres.

Emnet skal gi prinsipper for og innføring i mikro- og nanofabrikasjon av sensorer og aktuatorer i silisium. Kunnskaper: - beskrive grunnleggende egenskaper for og anvendelser av mikrosystem-teknologi, - beskrive generelle karakteristika for sensorer og aktuatorer, - beskrive funksjonsprinsipper og oppbygging av ulike typer mikro elektromekaniske sensorer og aktuatorer, - ha kjennskap til de viktigste avveiningene og grunnprinsippene for design og optimalisering av MEMS, - kjenne de ulike fabrikasjonsprosessene for produksjon av MEMS, - kunne gjennomføre enkle beregninger av elektromekaniske egenskaper for mikro elektromekaniske komponenter. Ferdigheter: - kunne benytte ervervet kunnskap til å foreslå valg av egnet sensor- eller aktuatorprinsipp for å oppnå en bestemt funksjon, - kunne benytte ervervet kunnskap til å velge optimalt sensor- eller aktuatordesign, - kunne benytte ervervet kunnskap til å foreslå egnet prosess for framstilling av en spesifikk mikro elektromekanisk komponent. Generelle ferdigheter: - kunne sette mikrosystemteknologi i sammenheng med viktige utviklingstrekk innen informasjonsteknologi.

Forelesninger, regneøvinger. Emnet kan bli forelest på engelsk.