MEMS teknologi og design

Emnet skal foreleses hvert år, første gang høst 2011.
En innføring i mikro- og nanofabrikasjon med fokus på silisium teknologi for framstilling av sensorer og aktuatorer. Grunnleggende mekanikk for konstruksjon av mikroelektromekaniske systemer (MEMS) vil behandles. Ulike sensor- og aktuatorprinsipper, slik som piezoresistivt, kapasitivt, termisk, piezoelektrisk og optisk prinsipp vil gjennomgås. Design og framstilling av ulike typer sensorer slik som trykksensorer, akselrometre, gyroskoper og gassensorer vil gjennomgås i detalj. I tillegg vil optiske, termiske, kjemiske og biologiske sensorer og aktuatorer og deres anvendeleser diskuteres.

Emnet skal gi studenten en innføring i design og anvendelser Mikro ElektroMekaniske Systemer (MEMS), og prosesser for å framstille disse.

Kunnskaper
• beskrive grunnleggende egenskaper for og anvendelser av mikrosystem-teknologi,
• beskrive generelle karakteristika for sensorer og aktuatorer,
• beskrive funksjonsprinsipper og oppbygging av ulike typer mikro elektromekaniske sensorer og aktuatorer,
• ha kjennskap til de viktigste avveiningene og grunnprinsippene for design og optimalisering av MEMS,
• kjenne de ulike fabrikasjonsprosessene og materialvalg for produksjon av MEMS,
• kunne gjennomføre beregninger av elektromekaniske egenskaper for en mikro elektromekanisk komponent,
• kunne beskrive gitte case-studier for design, optimalisering og produksjon for bestemte mikro elektromekansike komponenter.

Ferdigheter
• kunne benytte ervervet kunnskap til å foreslå valg av egnet sensor- eller aktuatorprinsipp for å oppnå en bestemt funksjon,
• kunne benytte ervervet kunnskap til å velge optimalt sensor- eller aktuatordesign,
• kunne benytte ervervet kunnskap til å foreslå egnet prosess for framstilling av en spesifikk mikro elektromekanisk komponent.

Generelle ferdigheter
• kunne sette mikrosystemteknologi i sammenheng med viktige utviklingstrekk innen informasjonsteknologi.

Forelesninger, regneøvinger. Ved utsatt eksamen (kontinuasjonseksamen) kan muntlig eksamen bli endret til skriftlig eksamen.